PEEK-материал: Невидимый страж в производстве пластин

Аннотация

С быстрым развитием полупроводниковых технологий требования к материалам для производства пластин становятся все более жесткими. PEEK (полиэфирэфиркетон), высокоэффективный инженерный пластик, все чаще используется в производстве пластин. Его отличные физические, химические и механические свойства делают его незаменимым материалом в этой области.

Введение

В сердце полупроводниковой индустрии, в производстве пластин, выбор материалов имеет решающее значение. Материал PEEK, обладающий выдающимися свойствами, такими как высокая термостойкость, химическая стойкость, износостойкость, стабильность размеров и антистатические свойства, играет важную роль на различных этапах производства пластин.

Обзор материала PEEK

PEEK — это специальный инженерный пластик, состоящий из ароматических колец и эфирных связей, обладающий отличной термостабильностью и механической прочностью. Температура стеклования PEEK достигает 143°C, он может непрерывно использоваться при температурах до 260°C и выдерживает температуры до 300°C в течение коротких периодов времени.

Применение PEEK в удерживающих кольцах CMP

Химико-механическая полировка (CMP) — это критический этап в производстве пластин, используемый для выравнивания поверхности пластины. Благодаря своей износостойкости и стабильности размеров, материал PEEK широко используется при производстве удерживающих колец CMP для закрепления кремниевых пластин или подложек, обеспечивая точность и стабильность в процессе полировки.

Производство держателей для пластин

Держатели для пластин — это важные инструменты для загрузки и транспортировки пластин. Антистатические свойства и низкая выделяемость газов материала PEEK делают его идеальным выбором для производства держателей для пластин, что помогает предотвратить загрязнение и повреждение пластин при их обработке.

Производство коробок для фотошаблонов

Коробки для фотошаблонов используются для хранения и защиты фотошаблонов, которые являются ключевыми компонентами в процессе литографии при производстве микросхем. Благодаря своей высокой чистоте и химической стойкости, материал PEEK используется для производства коробок для фотошаблонов, обеспечивая их чистоту и неповрежденность во время хранения и использования.

Применение в инструментах для пластин

Инструменты для пластин, такие как зажимы для пластин и вакуумные ручки, используются для захвата и обработки пластин в процессе производства. Износостойкость и низкая выделяемость газов материала PEEK делают его идеальным материалом для этих инструментов, обеспечивая чистоту и целостность поверхностей пластин.

Антистатические свойства материала PEEK

В процессе производства пластин статическое электричество может повредить чувствительные полупроводниковые компоненты. Материал PEEK, после антистатической модификации, эффективно уменьшает генерацию и накопление статического электричества, защищая пластины от статического повреждения.

Экологичность материала PEEK

Перерабатываемость материала PEEK помогает снизить воздействие на окружающую среду в процессе производства пластин, соответствуя современным требованиям устойчивого развития и охраны окружающей среды.

Заключение

Благодаря своим превосходным характеристикам, материал PEEK играет важную роль в производстве пластин. По мере продолжения развития полупроводниковых технологий применение материала PEEK будет становиться все более распространенным, обеспечивая более надежные и эффективные решения для производства пластин.

Перспективы

В будущем, с повышением требований к производительности полупроводниковых устройств, исследования и применение материала PEEK будут продолжать углубляться, принося больше инноваций и прорывов в производство пластин.

См. продукт: PEEK Зажим для вафель